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則包含該關鍵詞出現在任一欄位(含基本資料及摘要)的所有計畫

關鍵字：選擇性濕式蝕刻；選擇性乾式蝕刻；二維光柵；雙波段量子井；離子轟擊； 焦平面陣列紅外線偵測器；感應耦合式電漿蝕刻機. 101 年所提計畫將進行系統性研究， ...

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