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蝕刻技術

蝕刻 技術. (Etching). 嚴大任助理教授. 國立清華大學材料科學工程學系 ... 是0.40μm/min, 氧化膜對矽的蝕刻選擇比為25比1, 如果 ... 為例，就是利用電漿放電方式進.

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