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真空蝕刻設備 - Hakuto 伯東真空產品

此一系統是利用integrate/ICP remote plasma System 整合高密度電漿源與偏壓源及氣體分流機構所設計的電漿制程機台，提供高效率、高品質、低營運成本之特性，充份的將電漿 ...

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