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電漿蝕刻技術-技術移轉-產業服務 - 工業技術研究院

This technology provide high etching rate for semiconductor etch process, the etch rateof Si wafer is higher than 10 ＆＃181;m/min. 技術規格. 晶圓尺寸: 12吋晶 ...

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