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圓腔式氧電漿機（Oxygen Plasma）

例如在電漿蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速後轟擊矽晶圓，使其表面原子的鍵結破壞進而能迅速與活化粒子進行化學反應達到蝕刻效果。電漿已廣泛應用 ...

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