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乾蝕刻機台原理 - Oxbridge

電漿 對蝕刻製程有物理性與化學性兩方面的影響。 ... 高蝕刻速率IV . 2.3 power，由於其電極以化學藥品與材料產生化學反應，將材料中不需要的部分溶解去除稱 ...

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