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題目：以SF6/O2/Ar 感應偶合電漿蝕刻碳化矽材料 - CHUR

Ar 的加入除了可增強蝕刻速率外，表面. 粗糙度也降低至0.27 nm。當SF6/O2/Ar 分別以10.5/2.6/6.9 sccm 混合，. 經過90 分鐘的電漿蝕刻可得侵蝕深度為 ...

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