主頁 · 產品; 蝕刻. 感應耦合電漿蝕刻; 矽深蝕刻; 反應離子蝕刻; 矽材犧牲層蝕刻(XeF2) ... 感應耦合式電漿蝕刻(ICP-RIE)系統RIE-400iP ... 精簡蝕刻機RIE-1C.
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