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離子蝕刻 - Alluminiofratelliserramenti

電漿 蝕刻是一種以氣體為主要性的離子，然後藉離子與薄膜間的化學反應，把 ... 本研究使用之石英玻璃蝕刻機臺為感應耦合電漿離子蝕刻(icp- rie) 系統， ...

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