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電漿蝕刻原理

而乾式蝕刻均是採用電漿來進行蝕刻，所謂電漿，為一由(1) 未解離之氣態分子； (2) 陰、陽離子及電子； 電漿機於積體電路製造製程然而，隨著積體電路中 ...

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