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國立彰化師範大學共同儀器電漿耦合式離子蝕刻機對外服務辦法

中文名稱：電漿耦合式離子蝕刻機(金屬). 英文名稱：Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch (ICP-RIE). 二、 儀器廠牌、型號：. 晶研科技NARC、hdpsq.

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