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微光電實驗室 機台介紹：蝕刻類機台 - 國立中央大學

儀器中文名稱：高密度電漿蝕刻系統; 儀器廠牌及型號：Unaxis / Nextral 860L; 設備規格：. Plasma generator： 2000 W 2.45 GHz HF generator for HDP mode

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