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CN101692433A - 电浆蚀刻机台及其顶出销 - Google Patents

一种电浆蚀刻机台的顶出销，包含有一绝缘外壳与一导电中心销安装于绝缘外壳之中。导电中心销在顶起基板时，可直接接触基板，以移除基板上的残留静电。

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