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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

電漿 （稱做等離子體），它是在固態、液態和氣態以外的第四大物質狀態。 ... 製程的乾式蝕刻與佈植技術方面，都是用電漿原理來實現半導體的製程，而其中佈植領域的電漿 ...

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