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明志科大電漿與薄膜中心以AI助攻電漿科技的發展 - 新浪新聞

在許多涉及低溫電漿的應用中，自由基種類及濃度扮演著相當重要的角色。理論上自由基可以控制蝕刻、電漿清洗、沉積薄膜、廢水廢氣處理、表面改質、殺菌等的 ...

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