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以電漿改質奈米碳管製作之奈米碳紙其拉曼光譜及電性之探討

在經過電漿處理之奈米碳管，由於其電漿離子轟擊達到蝕刻效果與 ... 現電漿顏色有誤，通常代表氣體種類有問題。 圖3-15 本實驗室之電漿清洗機. 3.3.2 低溫四點電性量測.

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