電漿(PLASMA). 2. Page 3. 電漿與雷射應用. 3. Page 4. 電漿種類. 真空型電漿. ○化學氣相沉積. ○物理濺鍍. 非真空型電漿. ○高電場電漿 ... 高電場電漿殺菌裝置.
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