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電漿種類
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核心技術 - 逢甲大學電漿科技研究中心
隨著科技產業逐步發展,電漿也被廣泛的應用於各種製程,例如薄膜製程所使用的高功率 ... 本中心使用的電漿技術種類眾多,包括高功率脈衝磁控濺鍍、直流磁控濺鍍、脈衝 ...
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