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電漿種類
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2009 - 馗鼎奈米科技股份有限公司-Si-Plasma部落格
(1)利用金屬電極直接放電的低電流噴射式電漿(Plasma Jet),(2)使用高電壓電源 ... 從常壓到工作壓力,但其讀值受到氣體種類的影響,只能作為參考用。
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