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電漿種類
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硬膜電漿被覆及產型被覆系統新發展
表一氣體放電種類與對應之電漿被覆法. - 活化反應離子被覆(ARE). 正常輝光放電-. −高壓輝光放電離子被覆法(HVGD). 磁控濺射被覆法(MS). 非正常輝光放電-.
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