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介電質常壓電漿產生器之開發及其於質譜分析之應用 - 國立中山 ...

1.3.2 感應耦合電漿（Inductively Coupled Plasmas, ICP） .... 12 ... 的電源僅以2.4 W 的輸出功率即可達成電源為高頻RF 之其他種類電. 漿所進行的運用。

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