當反應氣體壓力為 101 ~ 10 ° Pa 時,電子溫度比氣體溫度高約 1 ~ 2 個數量級,這種熱力學非平衡狀態為低溫製備奈米薄膜提供了條件。由於電漿體中的電子溫度高達 10 - K ...
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