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電漿溫度
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改善晶圓內均勻性與提升晶圓邊緣良率方法解析
本文將該溫度分佈圖與對照組(電漿關閉狀態下的靜態ESC溫度)進行比較,並將該資料用於研究腔體與腔體之間的匹配,此外,透過對ESC溫度和線上光學量測之 ...
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