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電漿溫度
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電漿鍍膜技術:電漿濺鍍(DC)
(a)具有微小表面原子移動率及深寬比為1的隨時間演變的蒸鍍(亦即有較低基板溫度及無 ... 在高溫度下,所有物質早就游離化了,稱此種游離化狀態叫 做電漿(plasma)或稱為 ...
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