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微波電漿清洗機

工業應用上微波電漿之產生，為在真空環境下，藉由外部微波產生之電場與氣體分子產生振盪，當振盪夠大時，氣體分子因碰撞產生連鎖反應，進而產生電漿。而由不同通入反應氣體 ...

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