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電漿清洗原理
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半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? - 吳俊逸的數位歷程檔
負離子,中性分子,活性基及發散光子等,產生電漿的方法可使用高溫或高電壓. 何謂乾式蝕刻? ... 答:利用IPA(異丙醇)和水共溶原理將晶圓表面的水份去除.
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