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半導體製程技術 - 聯合大學

製程反應室的的乾式清洗. 電漿是什麼? ... 更精確的定義: 電漿就是有著帶電與中性粒子之準中. 性的氣體，電漿本身 ... 電漿蝕刻. ▫ 氧化物蝕刻製程，在電漿中使用CF.

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