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電漿蝕刻法在玻璃表面製作微結構之研究 - CHUR

六氟化硫/氧氣流量為28/2 sccm 進行電漿蝕刻120 分鐘後，可得到蝕 ... 2.4 電漿之原理及應用. ... (1) 先使用酒精或丙酮清洗電漿實驗機台腔體。

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