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Chapter 7 電漿的基礎原理

Chapter 7. 電漿的基礎原理 ... 離子佈植. • 光阻剝除. • 製程反應室的乾式清洗 ... 電漿是具有等量正電荷和負電荷的離子氣體. • 更精確的定義：電漿是有著帶電與中性 ...

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