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電漿輔助式化學氣相沉積設備 - 矽碁科技股份有限公司

電漿 輔助式化學氣相沉積（PECVD）是一種使用電漿的化學氣相沉積(CVD)技術，可為沉積反應提供一些能量。與傳統的CVD方法相比，PECVD可以在較低的溫度下 ... 電漿清洗。

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