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電漿清洗原理
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第二章文獻回顧
2.2 電漿原理與特性. 2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子,其中包含自由電子、氣體離子、. 中性的氣體原子或分子、激態的原子和分子以及自由基 ...
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