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電漿理論與應用2020.pdf

電漿原理. 電漿內部包括: 帶電荷之電子、正離子、負離子、紫外光、中性氣體原子與自由基等物 ... 大氣電漿原理機制. 大氣電漿. 蝕刻、灰化、清洗機制.

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