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マスフローコントローラーとは・原理・構造・コンバージョン ...

... 製毛細管の上流側と下流側に巻かれた抵抗体に電流を流し発熱させます。 ... また、C.F値が同じガス（例えば、窒素と水素）でもガスの物性値（比熱や密度）の違い ...

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