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電流密度
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高電流密度及低電阻率石墨烯-銅內連線之製備與特性研究
線寬微縮後,銅內連線上的電流密度也會隨著變大,容易產生電致遷移使銅內連線損壞。本論文係利用電子迴旋共振化學氣相沉積法成長石墨烯於內連線上,石墨烯幫助導電可 ...
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