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電磁式平面微電感的製作與應用 - 台灣儀器科技研究中心

本文探討在微機電系統(MEMS) 領域中常被應用的電磁式平面微電感，針對目前 ... 線距為25 µm，電阻值量測為17 歐姆，圖7 為完. 成後的並聯式線圈。

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