1. 機型:HITACHI S-4000 · 2. 電子槍:冷場發射式電子源 · 3. 電壓:Vacc (Accelerating voltage): 0.5 ~ 30 kV · 4. 解析度:1.5 nm at 25 keV · 5. 放大倍率:20 ~ 300,000 ...
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