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場發射電子顯微鏡

電子槍:熱電子型場發射電子源. 解析度:高解析影像條件 1.5 nm (15 KV). 成份與結構分析條件 3 nm (5nA, 15 KV). 放大倍率:10x ~ 500,000x. 試片室空間:最大試片 150 mm ...

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