FE-SEM 場發射掃描式電子顯微鏡. 機型:Hitachi-4700,EDS機型:HORIBA. Ⅰ. 0.5~30KV. Ⅱ. 電子光源:冷場發射電子槍. Ⅲ. 放大倍率:X 10 ~ X 500k.
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