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能量散射光譜儀(EDS) 儀器負責人： 程志賢老師分機： 4671 地點

EDS 可提供定性及半定量之成分分析，當入射電子束撞擊試片發生作用時會產. 生許多訊號，其中可產生連續X 光和特徵X 光，連續X 光為入射電子減速所放出的.

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