相似地,Ru 在 CMP 時,因為 Cu 和 Ru 的標準電位差比 Cu 和Ta 更大,所以仍會出現雙金屬腐蝕。然而,Cu 在這對組合中扮演陽極,Ru 扮演陰極,使 Cu 導線易於腐蝕, ...
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