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雷 射 退火 機台
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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學
進行黃光微影時,將光罩上的圖形轉移到矽晶圓上所使用的機台. 就稱為「曝光機」,從最早期半導體 ... 因此如果要曝出更細的線寬,就必頇再把波長縮短,但受於雷射光源.
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