#11准分子激光退火LTPS ELA process - 氦气

本文综述了当前制作LTPS TFT－LCD最重要步骤低温多晶硅的各种制备方法，简要介绍了各方法的基本原理，特别是对已经产业化的准分子激光退火ELA和Ni诱导固相结晶技术CGS ...

於www.51qiti.com

#12退火- 维基百科，自由的百科全书

退火 （Annealing），在冶金學或材料工程，是一種改變材料微結構且進而改變如硬度和強度等機械性質的熱處理。 過程為將金屬加溫到高於再結晶溫度的某一温度並維持此溫度 ...

於zh.wikipedia.org

#13半導體多片晶圓微波退火技術開發 - 機械工業網

半導體製程特別在前段製程(FEOL)之淺接面(shallow junction)摻質活化(dopant activation)上，過去無論是使用快速升溫退火爐(RTA)或雷射(Laser)退火， ...

於www.automan.tw

#14電子工程系

雷射退火 長晶之即時觀察: 雷射退火技術在LTPS-TFT及LTPS-TFSC均為極為重要之製程，亦同時為掌控元件品質之瓶頸技術。為使掌控長晶，則需先了解長晶原理。然而矽膜經過雷射 ...

於www.et.ntust.edu.tw

#15以準分子雷射退火技術製作低溫複（單）晶矽薄膜電晶體元件

This project utilized excimer laser annealing and low temperature thin film deposition technology accompanying with process and device structure design to ...

於9lib.co

#16「快速熱退火原理」懶人包資訊整理 (1) | 蘋果健康咬一口

火方式或是雷射退火方式有所差異，所以特別在此多加 ... ,本實驗主要利用快速熱退火爐(Rapid Thermal Anneaing, RTA)系統成長方式， ... 時間，原理主要是藉由鎳與 ...

於1applehealth.com

#17紫外光雷射於鋁摻雜氧化鋅薄膜電極圖案化與退火製程研究

本研究提出了複合式雷射處理技術(同時具有電極圖案化與雷射退火製程效果)，針對鋁摻雜 ... 觸控面板依感應原理可分為 ... 在透明薄膜雷射退火製程技術中，Lee 等人以.

於www.tiri.narl.org.tw

#18CINmat微波退火_中文版(final) | 健康跟著走

CINmat微波退火_中文版(final). 影音; 準分子雷射退火 · 半導體退火原理. 文章 參考資訊. 退火.–... 退火. –離子佈植後. –合金. –再流動. •高溫CVD. –磊晶矽. –多晶矽.

於video.todohealth.com

#19雷射概論

雷射原理 為原子分子能階(energy levels)之概念，為量子. 力學之範圍. ○ 本章就雷射發光原理和元件做簡單而定性之介紹 ... 材料，以達到退火之目的. 工業應用. ○ 雷射 ...

於www.ym.edu.tw

#20雷射退火系統

一、 儀器名稱：. 中文名稱：雷射退火系統. 英文名稱：Laser Annealing System. 二、儀器廠牌、型號：. 聚昌，WA12. 三、儀器功能：. 1.雷射結晶化製程：非晶矽及複晶 ...

於khvic.nsysu.edu.tw

#21雷射標誌 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：感測器元件；功能性薄膜材料；奈米銀線；透明導電薄膜；透明導電高分子聚合物；可撓式高分子基板；複合式雷射製程；選擇性乾蝕刻；雷射結構化；雷射退火；雷射 ...

於www.grb.gov.tw

#22雷射、加工- 產業技術評析

雷射 除了可以用在微影，也非常適合加工半導體晶片，不論是切割、打標、鑽孔、量測、退火、取下製程都需要雷射來完成，而這幾項半導體製程，運用雷射 ...

於www.moea.gov.tw

#23雷射原理& 應用

雷射原理. 雷射LASER [Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation] 又名激光，意指利用電極方式把光放大，被釋放的光子在激發原來的粒子，則可獲的更多 ...

於www.dhlaser.com.tw

#24Index - MII 金屬情報網

結果說明爐退與雷射退火皆能將矽晶片阻值降低，其阻值會隨著退火條件而有所不同， ... 但上述兩個規格在傳統的聚焦原理上互為取捨關係，因此本計畫中採用繞射光學元件 ...

於mii.mirdc.org.tw

#25快速熱退火 - 藥師家

快速熱退火（RTA），是在反應爐中通入氬氣或氮氣等鈍氣，不進行任何的氣體反應，只是利用高溫進行回火， ... 藥師家 · 退火爐原理 · 快速熱退火 ... 準分子雷射退火 ...

於pharmknow.com

#26行政院國家科學委員會專題研究計畫期末報告

量化的差排分析，研究飛秒雷射退火在固態奈米孔晶格修補製程中原子等級之 ... 基於Van der Waals-London 理論以及庖立不相容原理[13]，並透過氣體狀態下實驗.

於www.etop.org.tw

#27快速升溫製程處理(RTP) - 半導體

選擇哪種技術取決於許多因素，包含元件在製程中的特定要求，如對特定溫度及其暴露時間的容忍度。應用材料的燈泡式、雷射式和加熱器式系統產品採用全方位退火技術，對於先進 ...

於www.appliedmaterials.com

#28第二十三章半導體製造概論

將晶片在嚴格控制的條件下退火，以使晶片的阻質穩定。 ... 雷射修補的目的是修補那些尚可被修復的不良品（有設計備份電路在其中者），提高產品的. 良品率。

於www.taiwan921.lib.ntu.edu.tw

#29激光打码技术- Kecmark 科创标识

打标原理 激光打码 · 退火 · 雕刻 · 蚀刻 · 去除涂层 · 发泡 · 碳化 · 变色 · 亚表面雕刻 ...

於www.kec-mark.com

#30雷射加工簡介

Lasik的原理就是利用雷射修正角膜厚度，間接矯正眼軸太長的近視問題，或把角膜修平，讓 ... 加工(切割、銲接、表面處理、退火)、醫療(雷射手術刀)、雷.

於www.imeng.ndhu.edu.tw

#31準分子雷射退火 - 雅瑪黃頁網

準分子雷射原理準分子雷射退火準分子雷射加工準分子雷射近視手術準分子激光準分子激光手術準分子激光器308nm準分子激光測不準原理導電高分子原理 網址：www.tnscg.com ...

於www.yamab2b.com

#32雷射標識

可靠的工業用雷射標識。您可在此獲得更多關於標識原理和所採用的雷射源的資訊。 ... 退火標記利用雷射在工件上形成一層氧化層。氧化層的顏色視溫度而定。

於www.phoenixcontact.com

#33一种igbt硅片背面退火方法及激光退火系统 - Google

此外，最新调研还发现，该领域引入了激光退火工艺和质子辐照工艺。 [0008] 对于质子辐照工艺流程而言，其原理如下：氢原子注入后会在晶格位置形成空位， ...

於www.google.com

#34短脈衝雷射加工機制與應用技術專輯

路板盲孔鑽孔等，都已在生產線上導入雷射製程 ... 享給國內相關同行；就超快雷射微觀作用原理與 ... 介電材料內部之雷射退火改質特性，換言之，就. 是透過飛秒雷射作用 ...

於www.itri.org.tw

#35應用玻璃基板上雷射低溫成長多晶矽薄膜研製金屬 - 國立成功大 ...

論文名稱：, 應用玻璃基板上雷射低溫成長多晶矽薄膜研製金屬-絕緣層-半導體蕭特基二極體式低成本太陽電池. Metal-Insulator-Semiconductor Schottky Diode-Type Low ...

於etdquery.lib.ncku.edu.tw

#36小型直流電源激發慢軸流式CO2 雷射之設計與製作The design ...

本文擬從雷射物理的探討而考慮雷射的製作原理，包. 括如何激發雷射介質及如何設計的雷射共振腔以取得最佳輸出以及控制輸出 ... 超導材料之蒸度或退火等。

於www.feu.edu.tw

#37藍光雷射位移感測器

當測量金屬，特別是退火金屬和有機材料如木材，皮膚，食品，貼面等，藍紫色雷射波長帶來 ... 非接觸位移optoNCDT產品，使用光學三角的量測原理，一個雷射二極體投射一 ...

於www.me-taiwan.tw

#38超短脈衝雷射技術在半導體晶圓中的應用 - 數位感

另外雷射還在鑽孔、劃線、退火等工序取得不錯的應用成果。 ... 其原理是將短脈衝激光光束透過切割材料表面聚焦在材料中間，由於短脈衝雷射瞬時能量極高，在材料中間 ...

於timetraxtech.com

#39碩士論文超快雷射應用於玻璃切割之探討 - 義守大學

實驗結果顯示，超快雷射針對該型式玻璃所需之加工閥值能量密度約. 為0.066J/cm ... 老師更是鉅細靡遺的逐字斧正，使之臻成；雷射原理方面，葉顧問也是傾囊相授，.

於ir.lib.isu.edu.tw

#40準分子雷射名稱中的準分子”eximer”為excited的前半部與dimer ...

準分子雷射表面清洗的原理: 選擇性清除(Selectively Remove). 利用污染物本身對雷射光有高吸收率，而被清洗的物件則 ...

於ykuo.ncue.edu.tw

#41國立台灣師範大學

2-8 熱退火原理(THERMAL ANNEALING) .................................... 15 ... process)、電子束蒸鍍法(E-beam evaporation)、脈衝雷射沉積法(pulsed.

於rportal.lib.ntnu.edu.tw

#42國外公差報告

雷射 切割技術，以及利用多重雷射光束吸收原理作玻璃切割. 等先進技術之發展及訊息，並掌握全球最新雷射應用發展趨. 勢並洽談可能之國際合作，對未來在 ...

於report.nat.gov.tw

#43教學設備 - 屏科材料

根據離子濺射原理進行薄膜製程。 ... 連續式雷射CW Laser (1064 nm). 圖片4. 根據所需條件可以升溫速率、持溫時間等參數對樣品進行退火處理。

於materials.npust.edu.tw

#44飛秒雷射的「妙手」之下，微光學元件實現功能多樣化

刻蝕輔助飛秒雷射工藝的基本原理是通過雷射使得材料發生改性，從而實現雷射作用 ... 他們利用飛秒雷射加工出改性區域，之後進行退火，最後利用10%的HF將雷射作用部分 ...

於min.news

#45年代瀏覽 - 海洋大學

樣品做雷射退火的處理。同一雷射在低功率下也做為拉曼散射實驗的激發光源。 在雷射的照射區域內，非晶/微晶的轉換比例會隨著雷射照射能量的關係可以由拉曼光譜推論而 ...

於ntour.ntou.edu.tw

#46兩階段退火金屬誘發結晶多晶矽之特性研究張志宇、黃俊達

Crystallization，SPC）和（3）雷射結晶法（Laser Crystallization，LC）。LC方法須採用雷射退火，故成本昂貴無法大量製. 造；而LPCVD與SPC兩種方法均需要600℃以上的 ...

於people.dyu.edu.tw

#47脈衝雷射技術在半導體晶圓領域中的應用 - 人人焦點

另外雷射還在鑽孔、劃線、退火等工序取得不錯的應用成果。 ... 雷射隱形切割最早起源於雷射內雕，其原理是將短脈衝雷射光束透過材料表面聚焦在材料 ...

於ppfocus.com

#48【Maker 電子學】小型OLED 顯示裝置的原理與應用— PART 1

現今小尺寸液晶面板還有用雷射光逐一對電晶體加熱退火的雷射退火（laser anneling）技術，讓薄膜電晶體的矽在加熱並冷卻之後結晶形成 ...

於makerpro.cc

#49LTPS TFT-LCD(低溫多晶矽液晶顯示器) - MoneyDJ理財網

LTPS在封裝過程中，利用准分子雷射作為熱源，雷射光經過投射系統後，產生 ... ---Cat-CVD：一種無須經由退火處理、而可直接沉積多晶薄膜(poly-film)的 ...

於www.moneydj.com

#50激光LIA技术 - 武汉帝尔激光科技股份有限公司

应用原理 / Principle. Light-Induced Annealing（LIA）： α-Si：H/c-Si的界面存在大量的界面态（Si悬挂键），研究发现，在光照的情况下，对此结构进行加热退火，可以 ...

於www.drlaser.com.cn

#51雷射加工 - 華人百科

原理. 雷射加工是利用光的能量經過透鏡聚焦後在焦點上達到很高的能量密度，靠光 ... 和控製照射時間、功率密度，可使材料表面熔化和再結晶，達到淬火或退火的目的。雷 ...

於www.itsfun.com.tw

#52半導體

另外還有最新的雷射突發式回火(Laser spike anneal)，技術概念在於利用雷射的高功率密度可大幅縮短回火製程時間，而低溫的製程改善了擴散與固態熔解 ...

於eportfolio.lib.ksu.edu.tw

#53晶圓的處理－薄膜

促進植入離子的電氣活性. • 退火（anneal）：穩定矽與氧. 化膜介面. Page 43. 退火反應器. RTA：Rapid Thermal Anneal. 急速溫度退火. Page 44. Page 45. 雷射退火 ...

於web.cjcu.edu.tw

#54相變化光碟原理簡介@ 彩妝教學

位元寫入係使用高功率短脈衝照射，使碟片局部熔化，並快速冷卻以形成非晶結構，而位元擦拭則是以低功率雷射脈衝照射，造成碟片局部退火結晶，並以更低功率雷射照射藉以偵測 ...

於zd0000401.pixnet.net

#55熱處理表面改性技術的發展，總結的很全很到位！ - 壹讀

本文主要介紹感應淬火、稀土或形變促滲、真空熱處理、雷射熱處理、電子束 ... 改性技術還包括雷射熔覆技術、雷射表面合金化技術、雷射退火技術、雷射 ...

於read01.com

#56雷射表面处理 - 豆丁网

[4]林三寶雷射原理與應用ISBN=957-21-2030-1 全華科技圖書股份有限公司2002。 ... 雷射退火(Annealing)對表面非晶格材料將其表面熔融或加熱再冷卻的方式如表面加熱達 ...

於m.docin.com

#57低温多晶矽(LTPS)TFT-LCD介绍_百度文库

而低溫多晶矽(LTPS) TFT主要藉由雷射退火製程形成多晶矽結構， 多晶矽的電晶體電子移動速度較非晶矽提高兩百倍，具顯示畫面反映速度快、高亮度、及高解析度…等優點，此外， ...

於wenku.baidu.com

#58為何精密模具(鑄件)需選擇用雷射焊接來修補？

鐳射焊優點是不需要在真空中進行，缺點則是穿透力不如電子束焊強。雷射焊時能進行精確的能量控制，因而可以實現精密器件的焊接。它能應用於很多金屬，特別是能解決 ...

於www.naco-tec.com.tw

#59準分子雷射原理 - Mcheo

準分子雷射屈光矯正手術的原理相當簡單，我們得先將角膜上皮刮除，然後再利用準分子 ... 雷射裝置系統—– 18 1.3-3 KrF準分子雷射裝置構造原理—– 19 1.3-4 RTA快速退火 ...

於www.mcheoch.co

#60知識力

LTPS：使用「主動矩陣式」，在玻璃上製作「非晶矽」薄膜電晶體，而且必須使用雷射退火形成「多晶矽」，價格更高。知識力www.ansforce.com。 ➤反應速度

於www.ansforce.com

#61半導體環型雷射二極體之非線性光學輸出特性研究

第二章環型單波導輸出半導體雷射原理................................ 11. 2.1 半導體雷射基本操作原理. ... 圖3.20 快速退火機(型號：ULVAC MILA-3000RTA) .

於ir.nuk.edu.tw

#62國立政治大學應用物理研究所碩士學位論文Bi0.5Sb1.5Te3 與 ...

6 小時的退火動作，藉此提升熱電陣列之效率。電極的部分，選用金作 ... 2.3 熱電元件工作原理. ... 3.3.5 雷射閃光法測定裝置(Laser flash analysis，LFA) .

於nccur.lib.nccu.edu.tw

#63硅晶圆中注入4.8MeV磷的激光退火激活 - 中国知网

【摘要】 对激活硅(Si)晶圆中高能注入磷(P)的激光退火方法展开研究。采用的P离子注入能量为4.8 MeV,在Si中的注入 ... 半导体激光退火原理[J]. 世界制造技术与装备市场.

於r.cnki.net

#64中碳合金鋼之雷射表面硬化處理Laser Surface Hardening of ...

以連續式二氧化碳雷射進行表面硬化處理所得之效 ... 的組織等優點，使得雷射廣泛運用於材料的表面熱處. 理(1-3)。 ... 鎳鉻鉬鋼三種鋼在退火狀態下之微硬度約為Hv.

於www.heattreatment.org.tw

#65Item 987654321/12899 - National Kaohsiung University of ...

Keywords: 鍺錫合金；密度泛函理論；直接能隙；氮化鎵基底；發光二極體；脈衝雷射退火 GeSn alloy;density functional theory;direct gap;GaN-base;light-emitting ...

於ir.lib.kuas.edu.tw

#66量子電腦：從原理、實作到應用

透過絕熱理論(adiabatic theory) ，最常用的就是量子退火法(quantum ... 離子阱利能用電極產生電場，將經過超冷處理(雷射冷卻，避免熱擾動) 的離子 ...

於kelispinor.medium.com

#67RTA(快速高溫爐)操作程序 :: 連鎖超商/餐飲業者

rta快速熱退火 rta原理 快速熱退火原理 rta製程 快速退火優缺點 半導體退火目的 rta設備 RTA 儀器 快速熱退火原理 rta設備 rta製程 rta儀器 雷射退火原理 半導體退火 ...

於chain.iwiki.tw

#68雷射雕刻填色技巧看過來！2大方式教你如何用雷射雕刻上顏色！

雷射 打標是指通過局部加熱在黑色金屬（鐵，鋼，高級鋼）和鈦上形成氧化層。通常氧化物層是黑色的，但它也可以具有其他退火顏色（例如黃色，紅色和 ...

於www.yistw.com

#69再結晶退火 - Lekovi

研究發現，厚度90 nm 之非晶矽膜於準分子雷射正面與. 實驗原理(一) 退火（ annealing)退火是把鋼料加熱到適當的溫度，保持適當的時間後，讓它慢慢冷卻的操作。

於www.lekovicrafting.me

#70金屬3D列印技術 - 科技部

噴砂、CNC 超音波震動輔助磨削、雷射平坦化和電解拋光等 ... 它的原理是使用者透過電腦繪製零件的設計圖或掃描現有物件，接著以積.

於web.most.gov.tw

#71雷射雕刻填色技巧看過來！2大方式教你如何用雷射雕刻上顏色 ...

於www.youtube.com

#72rapid thermal annealing 原理退火爐的原理 - Voajcr

退火原理 ( annealing ) 將金屬緩慢加熱到一定溫度﹐保持 ... 應用材料的雷射和燈泡式系統產品採用全方位rtp 技術，將物體內產生內應力的快速熱退火在半導體工業中， ...

於www.cisneservices.co

#73新雷射尖峰退火技術提高微影品質 - 電子工程專輯.

支持下開發雷射尖峰退火(Laser-spike annealing, LSA)技術，已經過193nm浸入式微影和13nm超紫外光(EUV)測試。目前，包括IBM、德州儀器(TI)、 ...

於archive.eettaiwan.com

#74認識雷射除鏽清潔 - 惠特科技股份有限公司

What is Laser Cleaning? 認識雷射除鏽清潔. ✹ 雷射除鏽/雷射清洗的原理. ✹ ...

於zh-tw.fittech.com.tw

#75準分子雷射退火鍺膜之再結晶特性研究 - 明志科技大學圖書館

本研究運用線上光學檢測技術於準分子雷射退火鍺膜期間之再結晶特性研究。研究發現，於超級橫向晶. 粒成長區域內，發現直徑約1μm 圓盤狀晶粒，其熔化時間約141~250 ns。

於lis.mcut.edu.tw

#76退火爐的原理@ 盧大的部落格 - 隨意窩

在鋼鐵產業或實驗室，有時會用到「退火爐」，退火爐還有分什麼鐘罩式、快速式…等等；「退火爐」在幹什麼？為什麼叫「退火」？ (解答) RTA(Rapid Thermal annealing) ...

於blog.xuite.net

#77Laser ablation(LA)|Applied Spectra|雷射剝蝕系統 - Rightek

雷射 剝蝕系統，讓您的ICP-MS升級固體進樣，一次滿足樣品免前處理，元素空間分佈解析及深度分析。 可串聯市面上任何廠牌之ICP-MS ... ASI 科學小教室－原理設備詳細介紹 ...

於www.rightek.com.tw

#78海信入主乾照光电，产业资本看上的不只是MiniLED - 电子工程 ...

海信近年来一直致力于推新品，曲面屏电视、OLED电视、QLED电视、激光电视，都是海信的不断尝试的新技术，意在引领电视的高端发展潮流。 京东方则聚焦小 ...

於www.eet-china.com

#79金属增材制造的微观组织特征对其抗腐蚀行为影响的研究进展

图 10 0.6 mol·L −1 NaCl中打印态、退火态的和传统锻造的316L不锈钢电化学极化曲线. Figure 10. ... 基于离散/堆积成型概念的RPM原理和发展.

於cje.ustb.edu.cn

#80雷射切割機幾種原理

雷射 汽化切割：利用高能量密度的雷射束加熱工件，令到溫度上升，資料開始汽化，形成蒸氣。這些蒸氣的噴出速度很大，在蒸氣噴出的同時，在資料上形成 ...

於www.thunderlaser.tw

#81奈米材料原理與製備 - 第 359 頁 - Google 圖書結果

... 室溫下超小型雷射器,主要設計原理是利用三維人造超原子組成奈米結構的陣列體系, ... 半導體內嵌入磁性的人造超原子體系,如錳離子被注入到砷化鎵中,經過退火後生成 ...

於books.google.com.tw

#82鈦昇科技-雷射加工，電漿清洗，FPC設備，載帶包材等產品

鈦昇科技總公司成立於1994年，坐落於台灣燕巢區，提供高品質，高技術能力，高科技的自動化設備製程能力，並專注於半導體，LED，主被動元件，生技醫療等產業提供服務。

於www.enr.com.tw

#83109年機械原理(含概要大意)實力養成 - 第 542 頁 - Google 圖書結果

(A)放電(B)超音波(C)電子束(D)雷射。( ) 5. ... (A)超音波接合(B)電子束焊接(C)雷射焊接(D)摩擦焊接。( ) 6. ... (A)時效處理(B)風硬處理(C)退火處理(D)脆火處理。

於books.google.com.tw