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六自由度共面偵測雙外差式雷射干涉儀之開發

雷射干涉儀多屬麥克森干涉儀[1]光路架構，使用. 光源波長來定義所量測到的面外位移變化量，因其. 量測原理簡單且光路架設容易，相關設備製造商及.

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