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開發一結合雷射位移計及光學影像顯微術之嶄新檢測平台
雷射 位移計的操作原理是由雷射位移計之雷射二極管投射. 的可見雷射光點到試片表面上,經由試片表面以特定的角度散射出來,透過高品. 質的聚光透鏡投射到位置感測元件(PSD ...
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