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微波電漿應用於分解半導體製程尾氣之研究

出大量的二氧化碳，或是在工業製程中使用全氟化物(Perfluorinated Compounds, ... 是一種特定的物質，而是對物質狀態的描述，可視為不同於固態、液態和氣態且.

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