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微製程概論(IC 及TFT/LCD)

因此矽晶圓經過SC-1和SC-2溶液清洗後，由於雙氧水 ... 4.光反應式化學氣相沈積法(PHCVD) ... 電阻加熱蒸鍍法利用鎢絲加熱所需的金屬材料，使之分解為單原.

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