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雷射技術在半導體晶圓中的應用 - 品化科技股份有限公司

在集成電路工藝線寬越來越小的情況下，LOW-K材料(K為介電常數，即低介電常數材料)越來越多的應用於集成IC中，由於LOW-K層傳統工藝很難加工，於是引入 ...

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