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包含界面活性劑和疏水劑之組成物用於避免抗圖案崩壞的 ...

一種包含至少一種非離子界面活性劑A及至少一種疏水劑B之水性組成物用於處理基板之用途，該等基板包含具有50nm或50nm以下之線距尺寸的圖案，其中(a)該至少一種界面活性 ...

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