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借力三大工具，精準量測樣品表面粗糙度

在電子產品與半導體晶圓製造時表面有粗糙度要求，將會影響後續製程如清洗潔淨度、鍍膜附著性、蝕刻方向性等。在製程設備中裝載晶圓的載具， ...

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