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電漿源原理與應用之介紹

於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場(E)，此 ... 電流的關係圖呈拋物線下降形式，並隨工作氣壓的大 ... 度及穩定電弧，並且造壓力梯度將電弧沿漩流產生器.

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